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键德测试测量系统(东莞)有限公司
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IPS探针台

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    标题:KeyFactor晶圆探针台 I-V/C-V, RF测试测量探针台



产品描述:

模块化系统设计,可配置多种测试测量方案。常用于基础I-V/C-V测量,脉冲I-V测量,高精度I-V/C-V测量,RF、mmW(微波)测试测量。



以下为部分参数,详细参数及方案请联系:sales@keyfactorsystems.com/18925408866-许先生「键德测试测量系统(东莞)有限公司」



Chuck

Diameter 2" to 6"

Material Stainless Steel

Plating N.A.

Planarity <5μm@Ambient Temperature



Measurement Accuracy (Electrical)

Part # Range Accuracy

BasicI-V 1μA rdg+10nA

COAX 1nA rdg+10pA

COAX-PIV 1nA rdg+10pA

TRIAX 10pA rdg+100fA

TRIAX-FemtoProbe 1~10pA rdg+10f

 
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